7月11日澳门巴黎人在线,据“中国光谷”微信公众号音问,华工科技近期制造出了我国首台中枢部件100%国产化的高端晶圆激光切割征战。
据华工激光半导体居品总监黄伟先容,半导体晶圆属于硬脆材料,在一个12英寸的晶圆上稀有千颗甚而数万颗芯片,晶圆切割和芯片分别不论罗致机械或激光神气,齐会因物资战争和高速默契而产生热影响和崩边,从而影响芯片性能,因此,法则热影响的扩散边界和崩边尺寸是要道。
而机械切割的热影响和崩边宽度约20微米,传统激光在10微米傍边;此外,切割线宽的减少,意味着晶圆能作念到更高的集成度,从而使得半导体制造更经济、更灵验果。
皇冠体育网络赌博自昨年以来,黄伟团队对半导体晶圆切割期间,伸开微纳米级激光加工的迭代升级、攻坚冲破,“最忙时团队20多东说念主两班倒轮替作念测试推行和居品优化,征战24小时陆续。”
经由一年悉力,华工科技制的半导体晶圆切割期间收效结束升级,热影响降为0,崩边尺寸降至5微米以内,切割线宽可作念到10微米以内。成为了我国首台中枢部件100%国产化的高端晶圆激光切割征战,在半导体激光征战范畴攻克多项中国第一。
按照分娩一代、研发一代、储备一代的理念,华工激光正在研发具备行业着手水平的第三代半导体晶圆激光改质切割征战,缱绻本年7月推出新址品,同期也正在开发我国自主常识产权的第三代半导体晶圆激光退火征战。
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